Новосибирск. 11 ноября. ИНТЕРФАКС - Специалисты Института тепло- и массообмена Национальной академии наук Республики Беларусь создали установку для производства сверхчистого стекла, необходимого для фотолитографии и ряда других отраслей, сообщил завотделением физики и химии неравновесных сред института Олег Пенязьков на Всероссийской конференции "Горение топлива: теория, эксперимент, приложения" в Новосибирске.
"В настоящий момент мы фактически получаем первые образцы высокочистого аморфного кварцевого стекла весом до 2-3 кг, строится экспериментальная установка, которая будет обеспечивать производство этих материалов в количестве примерно 8-10 кг в месяц", - сказал он.
Отсутствие такого стекла ограничивает возможности фотолитографии и, соответственно, собственного производства микросхем, отметил Пенязьков.
Помимо изготовления стекла для фотолитографии технология может использоваться также для изготовления волокна, создавать пространственно распределенные квантовые точки и т.д., создавать сцинтилляторы для ядерной физики и спектроскопии.
Работа финансировалась НАН Республики Беларусь и АО "Планар", сказал он.
В настоящее время основной объем стекла такого качества производится в США, всего в мире такое производство организовано не более чем в трех компаниях, отметил ученый.
Стекло производится из газовой фазы при окислении в кислороде специального прекурсора, молекула которого содержит четыре атома кремния, соединенных "мостиками" с кислородом, и большое количество метильных групп.
При окислении получаются молекулы диоксида кремния, которые при высокой температуре в форме наночастиц размером 30-50 нанометров осаждаются газовой струей на подложку карбида кремния при температуре более 1700 градусов Цельсия и атмосферном давлении.
Стекло "выращивается" послойно в течение нескольких суток, а иногда и недель, сказал он.
Для установки была создана специальная горелка со 120 соплами.
Через четыре года, сказал Пенязьков, объем производства стекла составит около 1,5 тонн в год с последующим тиражированием до 10-20 тонн.
